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掃描電鏡等離子清洗機

簡要描述:一、產品介紹CIF掃描電鏡(SEM)等離子清洗機采用遠程等離子清洗源設計,清洗快速、高效、低轟擊損傷,主要用于SEM或FIB等電鏡腔體內碳氫化合物的清洗

基礎信息

產品型號

廠商性質

代理商

更新時間

2024-10-22

瀏覽次數

516
詳細介紹

一、產品介紹

CIF 掃描電鏡(SEM)等離子清洗機采用遠程等離子清洗源設計,清洗快速高效低轟擊損傷,主要用于SEM或FIB等電鏡腔體內碳氫化合物的清洗。

二、產品特點

u 遠程等離子清洗源

u 清洗快速高效

u 低轟擊損傷

三、技術參數

產品型號

CIF-SEM

法蘭接口

KF40CF40

工作氣壓

0.3-3Pa

等離子電源

13.56MHz射頻電源,射頻功率5-150W可調,


遠程等離子源,自動匹配器

氣體控制

標配單路質量流量計(MFC)可選雙路。50毫升/分自動控制氣體流量,不會受環境溫度和壓力變化影響

氣源選擇

根據需求氧氣、氬氣、氮氣、氫氣等多種清洗氣源選擇

真空控制

皮拉尼真空計,測量范圍1E-5Torr

真空保證

真空計和電磁閥安全互鎖

操控方式

7寸全彩觸摸屏控制,中英文互動操作界面

電源/功率

220V,50/60Hz,300W

可選配件

可選氧氣、氮氣、氫氣發生器, 氫氣純度﹥99.999%,輸出流量0-300ml/min

質量保證

二年質保,終身維護

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